日本HOYA豪雅激光HSL-4000系列激光振荡器HSL-5500III采用双直线衬套谐振结构,激光头与框架使用高刚性材料,抗振性能达传统型号2倍。配备高气密防尘罩与PFN激光电源,支持电动狭缝精调(±5μm)及4组加工条件记忆功能,累计销量超2000台,适用于半导体修复等精密加工作业
日本HOYA豪雅
HSL系列激光振荡器的技术架构
日本HOYA豪雅HSL-5500III/5000III采用双直线衬套谐振结构,激光头与框架使用高刚性合金材料,抗振性能达传统型号200%,XY轴向操作稳定性提升显著。系统配备石英防尘罩(气密性提升3倍)与PFN激光电源,通过电动狭缝实现±5μm级精度调节,支持4组加工参数记忆功能,满足半导体晶圆修复等高精度需求。
核心性能优势
环境适应性:
温度补偿谐振器可将光路偏移控制在0.01mm/℃内,适应5-40℃工作环境
模块化设计允许快速更换激光管(寿命2000小时)与过滤器(单触式更换)
能效比优化:
空冷式HSL-4000III机型无需外接冷却水,能耗降低40%
软件线性调控系统可实时匹配1064nm/532nm/355nm多波长输出
行业应用实绩:
*累计装机超2000台,主要应用于:
▸ FPC柔性电路板激光钻孔(最小孔径20μm)
▸ 液晶面板ITO膜层修复(定位精度±3μm)
▸ 医疗设备精密焊接(热影响区<50μm)
技术演进方向
2025年新款HSL-6000系列将集成AI实时监测系统,通过光谱分析自动补偿能量波动,预计加工效率提升15%。现有HSL-5500III已通过CE认证与RoHS环保标准,支持定制化光路扩展接口。
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