产品简介

日本MITUTOYO三丰工件测量型 Hyper MF/MF-U系列高精度测量显微镜，配备LED环形光源和0.5μm超高分辨率。支持20-5000倍连续变倍，搭载高刚性Z轴提升测量稳定性。适用于半导体、精密模具等微米级尺寸测量

Hyper MF/MF-U系列核心技术解析

1. 超精密测量系统

采用(0.9+3L/1000)µm级XY轴测量精度，配合0.01µm最小显示分辨率，实现微米级尺寸测量。Z轴电动驱动速度达20mm/s，配备防碰撞下限设定功能，确保测量安全性。

2. 革命性光学系统

• 正像观察系统支持10x-100x物镜变倍，搭配平场复消色差镜头消除色差

• 明/暗场双模式照明系统，可选配微分干涉与偏光观察

• 激光自动对焦(LAF)技术实现1秒快速对焦

3. 智能化操作设计

三轴电动控制台集成前置操纵杆，支持RS-232C/USB双数据输出。Vision Unit选件实现影像自动对焦，工作台快速释放装置缩短60%调试时间。

4. 工业级应用适配

250×150mm至400×200mm多规格载物台，最大支持220mm工件高度。通过JIS B 7153认证，特别适用于：

半导体晶圆缺陷检测

精密模具三维轮廓分析

微型轴承尺寸验证

5. 系列型号对比

型号

核心差异

典型应用场景

Hyper MF

基础型，单目/双目配置

常规精密零件检测

MF-UA/UJ

2轴手动/Z轴电动

大批量产线快速测量

MF-UK/UD

明暗场+3轴电动

复杂光学元件分析

技术演进

2025年新型MF-UB2515B型号将测量精度提升至(0.9+0.003L)µm，配备250×150mm大理石工作台，成为IC封装检测的新