日本MITUTOYO三丰坐标测量机 日本三丰LEGEX三坐标机,固定桥式气浮结构78,亚微米级精度(0.23μm3)。FEM优化刚性18,集成温度补偿7,专攻半导体/精密模具检测
产品分类
LEGEX系列核心技术解析
采用固定桥式工作台移动结构,通过逆向工程思维消除传统桥式移动产生的俯仰/偏航误差。主体基座采用球墨铸铁密闭结构,配合Y轴导轨一体化设计,实现热稳定性提升37%。各轴滑动面应用陶瓷等离子喷涂技术,兼具0.1μm级平面度与耐腐蚀特性。
突破性精度表现
• 初项精度达0.28μm,500mm测量范围内配备热膨胀系数≈0的微晶玻璃尺,配合反射线性编码器实现0.01μm分辨率 • 独立X/Y轴结构消除轴间干扰,长期精度保持性提升60%
环境适应性设计
集成温度补偿系统,在18-22℃环境无需恒温车间即可工作。FEM结构模拟分析确保载荷变形<0.15μm/m,气浮轴承系统使移动振动降低至传统结构的1/8。
工业级应用验证
• 半导体领域:晶圆键合精度检测 • 模具行业:注塑模腔体轮廓测量 • 航空航天:涡轮叶片三维形貌分析 支持MPP-310Q测头实现500点/秒高速扫描,兼容接触式与非接触式测量模式。
智能化扩展能力
内置防撞安全系统与磁力快换接头,可选配自动调平模块缩短25%准备时间。通过MCOSMOS软件实现逆向工程数据对接,测量数据可直接反馈至数控机床。
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