产品简介

复合型CBX系列
常用真空度:60kPa以下(除了CBXA型)
常用排气压力:60kPa以下(除了CBXA型)
流量:280~1115L/min(60Hz)
由于双气缸-双功能(真空泵·鼓风机并列)方式、可以同时作为真空度60 kPa以下的真空源、排气压力60kPa以下的空气源来独立使用。
与以前的复合型泵相比较、该泵体积小·重量轻(与本公司的泵相比较)，而且，操作简便。

日本ORION好利旺复合型真空泵CBX系列

日本ORION好利旺复合型真空泵CBX系列是一款创新设计的干式真空泵，其核心创新在于将两种成熟的真空技术--涡旋(Scroll)单元和爪式(Claw)单元--集成于一个泵体之内，通过串联协作来实现单台泵无法企及的高性能。这种复合结构旨在兼顾高真空度与大抽速，同时保持干式泵的洁净优势。

CBX系列的工作流程精密而高效。气体首先进入前置的爪式单元。爪式转子以其大流量和强健的抽气能力著称，能高效地处理大量气体，并从大气压开始快速建立初步真空，更重要的是，它能耐受微量的粉尘和可凝性蒸汽，起到了强大的预处理作用。随后，经过预抽的气体被送入后级的涡旋单元。涡旋泵以其能达到很好的真空度和极洁净的特点而闻名，它负责将真空度进一步提升至更高的水平。涡旋单元在受到前级保护的情况下，可以在其最擅长的压力范围内高效工作，最终使整个CBX泵组达到一个非常优异的极限真空(通常<1Pa)

这种分工协作的复合式设计带来了显著优势。首先，它实现了更宽的有效工作范围，从大气压到高真空都能保持较高的抽气效率，避免了单级泵在某个压力区间抽速骤降的问题。其次，它增强了处理复杂工况的能力，前置的爪式单元像一个“卫士"，保护了精密的涡旋单元，提升了泵对工艺过程中出现的微小粉尘或可凝性蒸汽的容忍度，可靠性更高。当然，它继承了所有干式泵的核心优点:提供绝对无油的洁净真空，杜绝油蒸汽污染，并且维护成本极低，无需处理废油和更换油滤。

综上，好利旺CBX复合真空泵并非简单的技术堆砌，而是基于深刻应用洞察的智能工程解决方案。它非常适合需要同时满足高真空、大抽速、高洁净度和一定抗污染能力的苛刻应用，例如半导体封装、LED/MOCVD、真空镀膜、科研实验以及精密光学镀膜等领域，是替代传统多级泵组或油扩散泵的现代化、高效节能的优选方案。