产品简介

日本日东工器NITTO KOHKI 快速接头半导体快速接头 SCF型
工作压力：0.2 MPa
阀门构造：双路开关型
适用流体：空气、水、高纯度药品用、各种工业燃气

日本日东工器NITTO KOHKI 快速接头

SCF系列是日东工器为满足半导体、平板显示等制造业对高纯净度和高可靠性要求而专门设计的快速接头。其性能体现在多个方面。

首先，在材料与洁净度上，接头主体通常采用 SUS316 不锈钢，内部密封件则使用高兼容性的EPDM或氟橡胶等材料，确保在与高纯度化学品(如酸碱药液、超纯水)和各种高纯工业燃气(如氮气、氩气、氧气)接触时，极有效地抑制金属离子析出和颗粒物脱落，防止工艺流体受到污染，从而保障芯片制造良率。

其次，其“双路开关阀"构造是实现高性能的关键。在插拔过程中，接头与母座连接时，两侧阀门同时打开，形成流畅通路:断开时，两侧阀门瞬间自动关闭，能同时有效密封两端管路，实现零泄漏。这不仅极大提高了操作安全性，防止危险化学品外泄，更重要的是能隔绝管路内部与外界空气的接触，避免流体污染和氧化，并防止系统排空，维持管路内稳定的正压或惰性气体环境，这对于半导体湿法刻蚀、清洗CVD等关键工艺至关重要。

此外，该接头操作非常简便，采用单手即可完成的直插式连接方式，“咔嗒"一声即代表牢固锁紧，极大提升了设备维护和更换效率。0.2 MPa的工作压力范围覆盖了半导体工厂中大部分化学液输送和气体供给管路的工况需求。

日本日东工器NITTO KOHKI 快速接头