产品简介

美国SIMCO思美高光子针离子发生器，终-极一体化高级光子离子化，适用于任何超清洁工艺
4901型光子针离子发生器旨在消除半导体和其他需要快速放电时间、低摆动电压和精确平衡的超净制造过程中的静电荷。

4901型光子针离子发生器旨在消除半导体和其他需要快速放电时间、低摆动电压和精确平衡的超净制造过程中的静电荷。4901型使用软X射线源，这是一种光，不需要空气供应即可提供离子化的分子。 

软X射线很容易被大气吸收，生成等量的正离子和负离子。在这些正离子和负离子附近带电物体吸引相反电荷的离子，中和物体上的电荷。光子离子化是有效静电放电（ESD）、静电场（ESA）和防污染控制的高级必要解决方案。 

• 适用于关键的清洁度控制

• 低电压管式

• 针式设计用于狭窄、受限空间和工具内应用

• 报警输出信号
  美国SIMCO思美高光子针离子发生器
  

• 规格

• 输入功率	24 伏直流电，60瓦
  排放	<1 秒 @ 6 英寸 (15.2 厘米); ±1,000V 到 ±100V
  余额	固有平衡0V
  离子发射	软X射线技术
  洁净室等级	零粒子生成
  维度	引脚头：直径0.94英寸 x 长度3.35英寸（2.40 x 8.50厘米） 离子器：3.3英寸 x 1.3英寸 x 长度4.8英寸（8.38 x 3.40 x 12.4厘米）带支架
  重量	0.875 磅 (0.40 公斤)

• 应用程序

• 半导体前端工艺用于中和在晶圆氧化、曝光、蚀刻、离子注入和干燥等操作过程中积累的静电荷。

• 在装载/卸载、拾取和放置以及晶圆运输阶段，将之集成到设备中以抑制静电荷的产生。

• 用于检查过程，以防止颗粒污染，从而避免对晶圆完整性和检查结果造成影响。

• 部署测试设备以减轻静电放电（ESD）事件，保护测试中的芯片免受潜在损坏。

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