产品简介

美国SIMCO思美高±5V 低压离子棒，调制脉冲反馈控制AeroBar®
Simco-Ion的最-新Modulated Pulse (MP) Technology离子化棒现在可以通过Novx系统和Novx Inside版本实现主动监控和反馈控制。

Simco-Ion的最-新Modulated Pulse (MP) Technology离子化棒现在可以通过Novx系统和Novx Inside版本实现主动监控和反馈控制。5645 MP棒专为半导体后端先-进封装和测试应用以及前端需要超清洁环境的应用而设计，具有快速放电时间、低摆动电压和精确平衡的行业领-先平衡离子化性能。这项先-进技术使AeroBar能够在离晶圆150毫米内安装。精度调整结合超清洁的硅发射点，5645 MP棒超过ISO 14644-1 Class 1的清洁度，并满足ISO Class 1扩展水平的颗粒物要求，小至10纳米。 

当与Novx System或Novx Inside安装时，监控和反馈控制，5645可以比±5V更好地保持精确平衡。该条杆可以轻松调整和微调电压、频率和平衡，以满足环境和产品敏感度要求。5645 MP条杆有14种长度可供选择，从350-2350毫米。

• ±5V 带 Novx 监控和反馈 系统

• 硅晶片：ISO 14644-1 1级和扩展ISO 1级
  钛：ISO 14644-1 3级 

• 集中化电力和控制，使用广泛可调的MP控制软件

• 传感器输入、FMS连接、报警、电源和通信位于酒吧的同一端。