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日本KASUGA 春日真空用静电电位传感器

产品简介

日本KASUGA 春日真空用静电电位传感器,在真空中,由于缺乏能够缓解静电的气体成分,静电问题比大气压环境更严重,成为更为严重的生产障碍。

 真空用静电电位传感器使用能够在真空环境中使用的材料和部件,用于测量真空内产生的静电。请用于真空过程中静电产生的原因识别和静电电位的连续监控

产品型号:KS-3101
更新时间:2026-01-05
厂商性质:经销商
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日本KASUGA 春日真空用静电电位传感器

在真空中,由于缺乏能够缓解静电的气体成分,静电问题比大气压环境更严重,成为更为严重的生产障碍。

 真空用静电电位传感器使用能够在真空环境中使用的材料和部件,用于测量真空内产生的静电。请用于真空过程中静电产生的原因识别和静电电位的连续监控。

日本 KASUGA 春日 KS-3101 是一款振荡式真空兼容型表面电位传感器,专为半导体、真空镀膜等真空工况设计,提供非接触式静电精准监测。
传感器支持 10⁵Pa(常压)至 10⁻¹~10⁻⁵Pa 真空度适配,双量程可切换,高量程 0~±20.0kV(100mm 测量距离)、低量程 0~±2000V(10mm 测量距离),测量精度达 ±10% 以内。本体仅 130g 轻量化设计,搭配专用真空电缆与控制盒,布线灵活且可延长,适配真空腔体狭小安装空间。
产品具备故障诊断 LED 报警功能,需搭配 KSD 系列控制器使用,可输出模拟信号对接工业控制系统。适配 0-40℃、65% RH 以下无结露环境,能有效解决真空环境静电隐患,保障生产安全。


日本KASUGA 春日真空用静电电位传感器

规格

型式KS-3101
检测方式振动型表面电位传感器
使用推荐真空度10 5Pa(大气压)、10 -1~10 -5Pa
测定范围
HIGH范围:0~±20.0kV(测量距离100mm)
LOW范围 :0~±2000V(测量距离10mm)
测定精度±10%以内
警报检测传感器故障LED显示
使用环境温度0~40℃、湿度65%以下(无冷凝现象)
质量约130克(不包括电缆和控制盒)
构成必需品
真空用电缆:KS-3101-C01(电缆长度1米,可延长)
控制盒:KS-3101-B05(附带大气侧电缆5米,可延长)
控制器 :KSD-0110

※真空法兰请客户自行准备。


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