日本KASUGA 春日微波等离子体除静电系统

产品简介
日本KASUGA 春日微波等离子体除静电系统，在真空中，由于缺乏能够缓解静电的气体成分，静电问题比大气环境更为严重，成为更为严重的生产障碍。微波等离子体去静电处理系统能够在传统难以处理的高真空过程中实现去静电。

产品型号：MPNS-01

更新时间：2026-01-05

厂商性质：经销商

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日本KASUGA 春日微波等离子体除静电系统
在真空中，由于缺乏能够缓解静电的气体成分，静电问题比大气环境更为严重，成为更为严重的生产障碍。微波等离子体去静电处理系统能够在传统难以处理的高真空过程中实现去静电。
日本KASUGA 春日微波等离子体除静电系统

概要

在真空中，由于缺乏能够缓解静电的气体成分，静电问题比大气环境更加严重，成为严重的生产障碍。普通的静电消除器（离子发生器）同样由于气体成分稀薄，无法生成足够的离子来实现静电消除。

微波等离子体除静电系统可以在传统难以实现的高真空过程中进行除静电。

测定的离子电流值即使在薄膜的输送速度为1000m/min时也是可静电中和的值。
除电范围是无障碍物的情况下，也能在距离2米的地方进行除电。

日本 KASUGA 春日 MPNS-01 是一款专为真空环境打造的高-端除静电系统，核心依托与 JAXA 联合研发的离子发动机技术，将航天级微波等离子体技术成功民用化。

该系统突破传统离子器局限，可在 10⁻³～10⁻⁷Pa 高真空条件下稳定生成等离子体，无需依赖压缩空气输送离子，从根源避免气流带来的颗粒污染与压力波动。其除电性能优异，无障碍物时覆盖范围可达 2m，即便工件以 1000m/min 高速输送仍能高效除电，离子分布均匀且无二次污染，契合精密制程的洁净要求。

系统采用模块化设计，安装灵活且无需大幅改造原有设备，可与真空腔体控制系统联动实现自动化同步除电。非接触式除电方式避免工件划伤，无易损放电电极大幅降低维护成本，广泛适配半导体晶圆镀膜、液晶玻璃贴合、柔性薄膜卷绕等场景，是真空制程静电管控的高效解决方案。