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美国SIMCO思美高过程监控系统

产品简介

美国SIMCO思美高过程监控系统,在工作站和工艺环境中监测关键静电参数
Simco-Ion, Technology Group的 Novx Series 7000 过程监控系统是一款多用途的基于微处理器的仪器,用于在工作站和过程中监测关键的静电相关参数。

产品型号:Novx Series 7000
更新时间:2025-12-30
厂商性质:经销商
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美国SIMCO思美高过程监控系统

在工作站和工艺环境中监测关键静电参数

Simco-Ion, Technology Group的 Novx Series 7000 过程监控系统是一款多用途的基于微处理器的仪器,用于在工作站和过程中监测关键的静电相关参数。六个专用通道定制了该仪器用于监测场电压检测/离子发生器平衡、ESD事件、人体电压检测或接地监控和粒子计数。

  • 智能信号处理

  • 多种传感器和天线款式

  • 菊花链式;RS-485或以太网输出

  • ESD事件检测跟踪

  • 三种现场电压监测选项

  • 用户可编程的报警设定点和自动消息通知

  • 闭-loop控制到工具计算机

  • 插件模块允许工厂升级
    美国SIMCO思美高过程监控系统

  • 规格

  • 现场感知
    输入电压±15 - ±5000V
    输出电压0 - ±5.0
    准确性±1V 用于 <20V;±5% 用于 >20V
    ESD事件检测CDM / HBM
    粒子计数器界面数据采集
    身体电压 检测
    施加电压<0.5V
    准确性±0.5V
    接地监测
    范围1-20 欧姆
    施加电压<0.5V
    准确性0.5 欧姆
    一般
    维度2.7英寸宽 x 7英寸高 x 5.5英寸深 (6.9 x 17.8 x 14 厘米)
    重量2.5 磅(1.4 公斤)

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